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高纯气体

文章滥觞:xt-gas 更新工夫:2015-04-08

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气体称号 化学式 规格(%) 杂质(ppm)
高纯氦 He 99.999% O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3
高纯氩气  Ar 99.999% O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4
高纯氢气 H2 99.999% O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1
高纯氮气  N2 99.999% O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3
高纯二氧化碳 CO2 99.999% O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1

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