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特种气体

文章滥觞:xt-gas 更新工夫:2015-04-08

气体称号 化学式 规格(%) 杂质(ppm)
二氧化硫 SO2 99.90% 氧+氮<><><>
一氧化氮 NO 99.50% 氧化亚氮<><><><>
二氧化氮 NO2 99.90%  
氧化亚氮 N2O 99.99%  
Ne 99.995% H2≤2 N2≤5 He≤40 THC≤1 O2+Ar≤2 H2O≤2
    99.999% O2≤1 N2≤5 H2O≤2 He≤10
Kr 99.99% N2≤20 H2≤2 O2+Ar≤5 Xe≤50 H2O≤3 THC≤3
    99.998% N2≤3 H2≤0.5 O2+Ar≤2 Xe≤4 H2O≤2.6 THC≤1
Xe 99.99% N2≤20 Ar≤10 N2O≤1 O2≤2 H2≤2 Kr≤50 H2O≤3 HC≤3
    99.9990% N2≤3 THC≤1 N2O≤0.5 O2+Ar≤2 H2O≤2.6 H2≤0.5 Kr≤4
硫化氢 H2S 99.90% 氢气<><><>
液氯 99.90% 二氧化碳<400、一氧化碳><><><><20、水><>
 
Cl2 99.999%  
NH3 99%  
    99.999% 氧气 <1.0ppm, 氮气=""><><><2.0ppm,thc(c1~c3)><>
六氟化硫 SF6 99.99% O2≤10 H20≤5 N4≤40 HF≤0.1 CF4≤25
分解氛围 Air O2:19.5~22.5% H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5
zero氛围   O2: 19.5~22.5% H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1
       
甲烷 CH4 99.50% O2≤100 HC≤1500 N2≤600 H2≤2000
    99.95% O2≤5 H2≤10 N2≤100 HC≤100 H2O≤5 CO/CO2≤10
    99.99% O2≤2 H2≤5 N2≤10 HC≤20 H2O≤5 CO/CO2≤1
    99.999% O2≤0.5 H2≤0.1 N2≤2 HC≤0.1 H2O≤2 CO2≤0.1
乙烷 C2H6 99.90% O2≤50 N2≤40 HC≤1000
    99.99% O2≤2 HC≤100 N2≤5 H2O≤5 CO2≤5
乙烯 C2H4 99.95% O2≤2 CH4≤100 N2≤5 C2H6≤350 H2O≤30 HC≤100
丙烷 C3H8 98.50% O2≤100 HC≤14000 CO+CO2≤10 H2O≤12
    99.95% O2≤10 HC≤400 N2≤40 H2O≤5 CO2≤10
丙烯 C3H6 99.50% HC≤1000 C3H8≤4000
    99.95% N2≤10 C3H8≤3000 C4H6-1.3≤5 CH4≤5 C4H10≤5 C2H6≤50 C4H8≤5
丙二烯 C3H4 98% 丙炔≤20000
丙炔 C3H4 98% 丙二烯≤20000
环丙烷 C3H6 99%  
正丁烷 C4H10 99.00% O2≤15 H2O≤20 HC≤1%
    99.50% O2≤15 H2O≤12 HC≤5000 CO+CO2≤10
    99.95% O2≤10 H2O≤10 HC≤500 CO+CO2≤10
异丁烷 C4H10 99.50% O2≤15 C3H8≤4000 C4(uns.)≤100 H2O≤15 n-C4H10≤2500 CO+CO2≤10
    99.99% O2≤10 C3H8≤10 C4(uns.)≤50 H2O≤5 n-C4H10≤50 CO+CO2≤10
丁烯-1 C4H8 99.90% H2O≤10 HC≤1000
顺-2-丁烯 C4H8 99.40% HC≤7000
反-2-丁烯 C4H8 99.40% HC≤7500
异丁烯 C4H8 99.99% H2O≤5 HC≤100
1.3-丁二烯 C4H6 99.80% O2≤5 N2≤10 HC≤1200
正戊烷 C5H12 99.50% C5H10<0.1wt i-COH12: 0.4wt%
异戊烷 C5H12 99.30% n-C5H12: 0.5%
氯甲烷 CH3Cl 99% 甲醇≤4000
溴甲烷 CH3Br 99.99% 氧≤1,水≤2

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