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产业用低纯度气体

文章滥觞:xt-gas 更新工夫:2015-04-08

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气体称号 化学式 规格(%) 杂质(ppm)
氦气​ He 99.995% CH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H20≤10
Ar 99.99% O2≤10 THC≤10 N2≤50 H2≤5 H2O≤15
H2 99.99% O2≤5 CO2≤5 N2≤60 CH4≤10 CO≤5 H2O≤30
N2 99.99% O2≤50 CO2≤10 H2≤10 CO≤5 H2O≤15 CH4≤5
O2 99.995% Ar≤20 CO2≤1 N2≤20 HC≤2
二氧化碳 CO2 99.995% O2≤10 H2O≤5 N2≤20 CO≤1 HC≤10

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